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半導(dǎo)體百級(jí)無(wú)塵烤箱

半導(dǎo)體百級(jí)無(wú)塵烤箱

型    號(hào): EVC150L
更新時(shí)間:2025-01-08

Class 100百級(jí)潔凈無(wú)塵烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

產(chǎn)品詳細(xì)資料:

一、半導(dǎo)體無(wú)塵烤箱設(shè)備用途:
   半導(dǎo)體無(wú)塵烤箱Class 100百級(jí)潔凈無(wú)塵烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

二、半導(dǎo)體無(wú)塵烤箱產(chǎn)品特點(diǎn):
1、在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100級(jí);
2、內(nèi)膽四周氬弧焊,耐高溫硅膠密封,SUS304#不銹鋼加熱器,防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵;
3、采平面水平送風(fēng)后經(jīng)美國(guó)進(jìn)口H.E.P.A Filter裝置往前 (特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng),過(guò)濾效率99.99%,Class 100排氣口:3"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門)
4、箱內(nèi)空氣封閉強(qiáng)制自循環(huán),經(jīng)耐高溫空氣過(guò)濾器反復(fù)過(guò)濾,使干燥箱工作室內(nèi)處于無(wú)塵狀態(tài)。水平循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場(chǎng)分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),溫度控制精度。
5、配壓差計(jì)隨時(shí)了解過(guò)濾器工作狀態(tài)。

三、半導(dǎo)體無(wú)塵烤箱潔凈度100級(jí)的潔凈熱處理:
HEPA高效過(guò)濾器與前出風(fēng)型水平層流循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與Class 100級(jí)潔凈度小限度控制風(fēng)速距離。

三、技術(shù)參數(shù):

設(shè)備型號(hào)

EVC 150L

EVC 320L

EVC640L

EVC 270L2【雙層】

內(nèi)箱尺寸W*D*H mm

500×500×600

600×600×900

800×800×1000

700×700×500

外型尺寸W*D*H mm

以實(shí)物為準(zhǔn)(溫度不同外箱尺寸不同)

工作溫度范圍

A: 250℃   B: 300℃

潔凈度

Class 100級(jí)(可定制Class 1000級(jí),Class 10000級(jí))

性能

解析精度

0.1℃

分布均勻度

±2.5℃%

 

材質(zhì)

外部材質(zhì)

SPCC鋼板粉體烤漆處理

內(nèi)部材質(zhì)

SUS﹟304鏡面不銹鋼板

隔熱材質(zhì)

玻璃纖維棉/陶瓷纖維棉

密封材料

硅橡膠

加熱方式

熱風(fēng)循環(huán)加熱/自然對(duì)流加熱/熱輻射加熱

加熱系統(tǒng)

不銹鋼高速加熱器

計(jì)時(shí)器

0.1S~9999H

溫控器

普通數(shù)顯溫控型/觸摸屏PLC程序控制器

其它配件

多層強(qiáng)化玻璃視窗(260℃以內(nèi)),隔層置物架(兩片)

安全裝置

電路系統(tǒng)負(fù)載保護(hù),風(fēng)機(jī)過(guò)載保護(hù),溫到計(jì)時(shí)時(shí)到斷加熱,故障警示燈

選配件

  • 溫度記錄儀;推車;測(cè)試孔(Φ25mm);④可選裝充氮功能(N2

設(shè)備電源

AC 220V或380V  50HZ

備注:1、以上數(shù)據(jù)均在環(huán)境溫度(QT)25℃.工作室無(wú)負(fù)載條件下測(cè)得。
2、可依客戶要求制作,滿足客戶的要求。本技術(shù)信息,如有變動(dòng)恕不另行通知


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