無(wú)塵烤箱用于IC生產(chǎn)過(guò)程中極為重要的光刻工藝中預(yù)烘烤(軟烘)，脫水烘烤，涂膠后的堅(jiān)膜烘烤(硬烘)；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、OLED、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén)。
 

　　清潔烤箱，無(wú)塵烤箱原理
 

　　無(wú)塵烤箱配備HEPA過(guò)濾器，以保持爐腔無(wú)顆粒。 HEPA過(guò)濾器(高效微粒捕獲)現(xiàn)在是電子和平板顯示器潔凈室組裝的主要過(guò)濾系統(tǒng)，或任何需要減少或去除亞微米微粒的應(yīng)用。 HEPA過(guò)濾器具有隨機(jī)定位的微玻璃纖維的深床，其中與平均纖維直徑和自由路徑橫截面的有效孔相比，總床深度(過(guò)濾器的厚度)非常大。
 

　　通過(guò)HEPA過(guò)濾器的氣體必須流過(guò)的通道不是直的，而是非常曲折的。隨著顆粒對(duì)纖維的影響并粘附在纖維上，通道變得更小并且過(guò)濾器的效率提高。無(wú)塵烤箱以及LCD行業(yè)的特殊輸送爐中使用這些過(guò)濾器。為了保護(hù)過(guò)濾器不會(huì)在烤箱中過(guò)熱，實(shí)施了用于過(guò)濾器的特殊保護(hù)系統(tǒng)。 HEPA過(guò)濾器在正常條件下保持其在烤箱中的效率一至數(shù)年。 HEPA不需要任何清潔或維護(hù)來(lái)保持這種效率。無(wú)塵烤箱用于半導(dǎo)體行業(yè)。